ORBIS 1000 AURIX - установка осаждения органических пленок из газовой фазы

Установка ORBIS 1000 AURIX предназначена для осаждения самособирающихся органических пленок (SAM, Self Assembled Monolayers). Типичной областью применения является производство МЭМС (снижения трения и в подвижных частях, предотвращение залипания), микрофлюидных систем (предотвращения адсорбции органических молекул в каналах), а также улучшение адгезии полимеров на поверхности полупроводниковых материалов и другие применения.

Установка состоит из базовой платформы Orbis 1000 и модуля AURIX. Orbis 1000 является платформой, хорошо подходящей для исследовательских разработок и небольших серийных производств. Рабочий процесс является полностью автоматизированным, что в сочетании со шлюзовой загрузкой образцов значительно снижает длительность цикла обработки. Модуль AURIX предназначен для осаждения SAM.

Основные особенности и преимущества:

• Точный контроль параметров процесса, в широком диапазоне
• Увеличенная производительность
• Управление с помощью ПК и сенсорного экрана
• Возможность встраивания в кластер с другим оборудованием

Технические характеристики:

Нагрев образцов	До 300°С
Нагрев стенок камеры	До 70°С
Удалённый источник плазмы	НЧ
Газовые линии	Линии прекурсоров -3 шт. Линия инертного газа – 1 шт.
Управление	ПК под управлением ОС Windows, сенсорный экран