NANO 321 - полуавтоматическая установка дисковой резки
Полуавтоматическая установка NANO 321 предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек различных материалов. Оснащена двойным микроскопом с различным увеличением, кольцевой подсветкой для максимально контрастной визуализации реперных меток, прочным шпинделем с низким уровнем вибраций, заслонками для защиты линз от загрязнения.
Программное обеспечение установки позволяет контролировать состояние режущего диска и задавать глубину реза (высоту шпинделя) в зависимости от степени его стачивания, автоматически совмещать и выравнивать режущий диск относительно линии реза, корректировать ошибку совмещения, сохранять в памяти все параметры и результаты процесса, отслеживать потребление воды и воздуха, выводить на экран предупреждения об ошибках в случае ненормального состояния системы в режиме реального времени. Модель NANO 321 обеспечивает высокую стабильность и повторяемость от процесса к процессу.
Технические характеристики:
|
Размеры пластин/подложек |
Круглые Ø 12”, квадратные 320х320 мм |
||
|
Шпиндель |
Макс. мощность |
1,8 кВт |
2,2 кВт |
|
Частота вращения |
6000–60000 об/мин |
3000–30000 об/мин |
|
|
Момент вращения |
0,35 Н*м |
0,70 Н*м |
|
|
Привод оси Х |
Макс. длина реза |
320 мм |
|
|
Скорость |
0,1 – 600 мм/с |
||
|
Привод оси Y |
Макс. длина реза |
320 мм |
|
|
Шаг |
0,1 мкм |
0,05 мкм (опционально) |
|
|
Точность позиционирования |
Менее 3 мкм/320 мм; менее 0,5 мкм/2 мм
|
||
|
Привод оси Z |
Макс. ход |
32,2 мм |
31,4 мм |
|
Разрешение |
0,1 мкм |
0,05 мкм (опционально) |
|
|
Макс. диаметр диска |
60 мм |
127 мм |
|
|
Повторяемость |
1 мкм |
||
|
Угол поворота Theta |
380 ° |
||
|
Рамка ленты-носителя |
2−12−1 |
||
|
Дисплей |
Цветной LCD 15’’ |
||
|
Габаритные размеры |
1290 х 1180 х 1800 мм (ШхГхВ) |
||
|
Вес |
1200 кг |
||
