20 января 2021
Новое видео от компании PVA Tepla: автоматическая система плазменной обработки GIGAfab
Немецкая компания PVA TePla AG является одним из ведущих производителей оборудования, где применяются высокотемпературные, вакуумные и плазменные процессы. Серия установок GIGAfab предназначена для снятия фоторезиста, в том числе для удаления резиста после высокодозной ионной имплантации, на пластинах диаметром до 300 мм. Установки позволяют обрабатывать одну пластину за один цикл, загрузка/выгрузка пластин осуществляется автоматически из кассетного держателя. Модели GIGAfab отличаются высокой производительностью в сочетании с компактным дизайном.
Процесс обработки одной пластины включает в себя несколько этапов:
- захват пластины из кассетного держателя
- выравнивание пластины
- помещение в плазменную камеру
- обработка плазмой
- охлаждение
- возвращение пластины в кассетный держатель
Основные применения моделей GIGAfab:
- Снятие фоторезиста при производстве МЭМС
- Удаление жертвенных слоев резиста, полиимида и др.
- Быстрое сжигание резиста после высокодозной имплантации и реактивного ионного травления
- Удаление слоев SU-8
Более подробно о модели PVA Tepla GIGA 690.
