Современные решения для производства электроники

04 апреля 2019

Новая кластерная система плазмохимического осаждения тонких плёнок

Компания TFE Srl (Италия), один из ведущих производителей вакуумного оборудования, заявила о выпуске новой кластерной системы плазмохимического осаждения тонких плёнок. Кластерная система TER является платформой, которая может быть оборудована шестью процессными модулями, а также одним или двумя устройствами для кассетной загрузки. Система ориентирована на применения в научных исследованиях и пилотных производствах, благодаря своей гибкости, позволяющей проводить различные процессы, такие как RF-PECVD, VHF-PECVD, ECR-PECVD и HW-CVD, в едином цикле. По сравнению с другими кластерными системами, представленными на рынке, система TER позволяет иметь конфигурацию с модулями, комбинирующими различные процессы, например, плазмохимическое осаждение, магнетронное напыление и ионно-пучковое осаждение.

keyboard_arrow_leftВернуться к списку
Новости