Современные решения для производства электроники

Huvitz HRM-300 - прямые микроскопы профилометры

Huvitz HRM-300

Микроскопы серии HRM-300 являются новейшим решением в области оптических и цифровых измерений. Высококлассная оптика и прецизионный пьезоэлектрический механизм перемещения стола, многофункциональное программное обеспечение PANASIS для проведения измерений топографии образцов по трем координатам, а также возможность построения трехмерных моделей делают это оборудование оптимальным решением как для научно-производственной, так и исследовательской деятельности в микроэлектронной промышленности.

Оптическая головка

бинокулярная; тринокулярная

Угол наклона  окуляров

20о

Револьверная головка

на 5 позиций

Объективы

5х; 10х; 20х; 50х; 100х

Разрешение

2,24 мкм; 1,12 мкм; 0,75 мкм; 0,42 мкм; 0,37 мкм

Окуляры

10х/25  (широкопольные, возможно нанесение различных типов шкал)

Рабочее расстояние

от 1 мм до 20 мм (в зависимости от типа объектива)

Конденсоры

Аббе  (N.A. 1.20); длиннофокусный (регулируемый N.A. 0.65)

Осветительная система

Осветитель Келера для работы с отраженном и проходящем свете

по методу светлого и темного поля; возможность сохранения настроек осветителя в программном обеспечении

Столы механические

от 3 х 2" до 12 х 14" (могут быть укомплектованы  предметным  стеклом или подложкодержателем)

Столы механизированные

4 х4"; разрешение по осям X, Y: 0,01 мкм

Модуль 3D Profile

Пятифазный прецизионный пьезоэлектрический  двигатель; рабочая зона по оси Z — 30 мм; разрешение  - 0,01 мкм; повторяемость — 0,5 мкм; максимальная нагрузка — 15 кг

ПО Panasis  Professional

Разработано для проведения измерений по трем координатам с высокой точностью, построения 3D моделей образцов, составления карт высот и цифрового документирования полученных результатов. Широкий выбор функций: от простейшего документирования до измерений в реальном времени по трем координатам с возможностью сохранения данных

в основных форматах графических и табличных редакторов

Южнокорейская компания Huvitz, производящая оптическое оборудование для производства микроэлектроники и бесконтактных измерений

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Визуальный контроль