Современные решения для производства электроники

Premtek RTP-T50M - установка для проведения быстрых термических процессов

Premtek RTP-T50M

Установка RTP-T50M – это компактная печь для проведения быстрых термических процессов,  используется для термообработки и  отжига материалов из кремния, германия, арсенида галия, фосфида индия, силицидов, нитридов титана,  поликремния  и др. Одновременный нагрев с двух сторон с помощью ИК галогеновых ламп позволяет достичь высокой температурной однородности внутри печи. Модель RTP-T50M  имеет кварцевую камеру с внутренними теплыми стенками, водяное охлаждение, оснащена монитором для многозонного контроля ламп в режиме реального времени с обратной связью, сенсорным экраном, множественными блокировками безопасности и сигналами оповещения при перегреве камеры, поломке термопары, утечке воды, неправильном уровне давления сжатого воздуха и др. Загрузка/выгрузка пластин осуществляется вручную.

Технические характеристики:

Диаметр пластин

50 мм (2”)  (1 пластина за один цикл)

Диапазон рабочих температур

200 – 1100 °С,

встроенная термопара К-типа (0 – 800 °С)

Скорость нагрева

≤ 100 °С/сек

Точность поддержания температуры

± 1 °С

Температурная повторяемость

± 2 °С

Нагревательные лампы

8  галогеновых ламп по 1 кВт

Количество газовых линий

2 шт.

Предельный вакуум в камере

10−3 мбар

Опции

Пирометр  (800 – 1100 °С); контроллеры MFC для газовых линий; вакуумный насос

Питание

220 В, 50 Гц, 1 ф., 30 А

Требуемые подключения

Сжатый воздух: 4 – 6 бар; 120–150 л/мин

Вода: 18 – 25 °С; 3−5 бар; > 10 л/мин

Азот: линия 1: 3−5 бар;  100 л/мин (макс.)

           линия 2: 3 бар; 25 л/мин (макс.)

Вытяжка: > 300 л/мин

Вакуумный насос: 240 л/мин; 5,03*10−3 мбар

Габариты (ШхГхВ)

500 х 500 х 530 мм

Вес

70 кг

 

Компания Premtek производит печи для проведения быстрых термических процессов

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Быстрые термические процессы (RTP)