Современные решения для производства электроники

Microtech LW-405A Standard - установка лазерной литографии (лазерный генератор изображений)

Microtech LW-405A Standard

Установка LW-405A предназначена для генерирования изображения на подложке. Она может использоваться для общих и специализированных задач в исследовательских разработках и промышленном производстве. Типичным применением является прямое экспонирования по фоторезисту и создание фотошаблонов в следующих областях: микроэлектроника, микрооптика, СВЧ устройства, МЭМС, микрофлюидные системы, сенсоры и т. д.

Основные преимущества:

- Оптимальное сочетание разрешения и скорости при формировании изображения

- Конфигурация может быть адаптирована к различным задачам с помощью дополнительных опций

- Компактный дизайн

- Доступная стоимость

 

Технические характеристики:

Рабочая область

150 x 150 мм

 (опционально, до 350 х 350 мм)

Точность позиционирования

± 0.1 мкм

Разрешение лазерного интерферометра

10 нм

Разрешение (минимальный топологический элемент)

0.8 мкм

(опционально: 2, 4 или 10 мкм, при необходимости увеличения скорости создания изображений)

Тип лазера

Твердотельный лазер GaN, длина волны 405 нм

(опционально: 325 и 375 нм)

Подложки

Стандартные фотошаблоны (хром, окид железа), Si, GaAs, InP, и т.д.

Поддерживаемые форматы изображения

CIF, DXF, GDSII

LDF – собственый формат

Рабочий режим

Растровый, векторный

Виброизоляция

Пассивная

(опционально, активная)

Прочее

— Вариация уровня засветки в процессе экспонирования,

— Совместимость с чистыми зонами,

— Возможность проведения инспекции с помощью ПЗС-камеры,

— Автофокусировка лазера,

— Работа с непланарными подложками

Оборудование для лазерной литографии

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Лазерная литография