Современные решения для производства электроники

NANO 320 - полуавтоматическая установка дисковой резки

NANO 320

Полуавтоматическая установка NANO 320 предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек различных материалов.  Оснащена двойным микроскопом с различным увеличением, кольцевой подсветкой для максимально контрастной визуализации реперных меток,  прочным шпинделем с низким уровнем вибраций, заслонками для защиты линз от загрязнения.

Программное обеспечение установки позволяет контролировать состояние режущего диска и задавать глубину реза (высоту шпинделя) в зависимости от степени его стачивания, автоматически совмещать и выравнивать режущий диск относительно линии реза,  корректировать ошибку совмещения, сохранять в памяти все параметры и результаты процесса, отслеживать потребление воды и воздуха, выводить на экран предупреждения об ошибках в случае ненормального состояния системы в режиме реального времени. Модель NANO 320 обеспечивает  высокую стабильность и повторяемость от процесса к процессу.

Технические характеристики:

Размеры пластин/подложек

Круглые Ø 12”, квадратные 320х320 мм

Шпиндель

Макс. мощность

1,8 кВт

2,2 кВт

Частота вращения

6000–60000 об/мин

3000–30000 об/мин

Момент вращения

0,6 Н*м

0,70 Н*м

Привод оси Х

Макс. длина реза

320 мм

Скорость

0,1 – 600 мм/с

Привод оси Y

Макс. длина реза

320 мм

Шаг

0,1 мкм

0,05 мкм (опционально)

Точность позиционирования

Менее 3 мкм/320 мм; менее 5 мкм/2 мм

Привод оси Z

Макс. ход

32,2 мм

31,4 мм

Разрешение

0,1 мкм

0,05 мкм (опционально)

Макс. диаметр диска

60 мм

127 мм

Повторяемость

1 мкм

Угол поворота Theta

380 °

Рамка ленты-носителя

2−12−1

Дисплей

Цветной LCD 15’’

Габаритные размеры

1290 х 1180 х 1800 мм (ШхГхВ)

Вес

1200 кг

Оборудование дисковой резки пластин на кристаллы

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Дисковая резка