02 сентября 2021

В декабре 2020 года компания PICOSUN® начала поставки установки атомно-слоевого осаждения для пластин диаметром до 300 мм PICOSUN® Sprinter. Теперь компания также начала поставки клиентам кластерных установок на базе PICOSUN® Sprinter.

«Кластер Sprinter состоит из двух модулей Sprinter и центрального вакуумного робота для работы с полупроводниковыми пластинами. Такая кластерная система позволяет, например, наносить пленку из оксида алюминия толщиной 10 нм на более, чем 100 пластин за один час», — объясняет Юхана Костамо, вице-президент по промышленному бизнесу Picosun Group.

«Высокая производительность в сочетании с уникальной конструкцией камеры, высочайшим качеством пленки для всей партии пластин и тем фактом, что инструмент может быть полностью интегрирован в производственную линию заказчика, делает PICOSUN® Sprinter предпочтительным инструментом для производства полупроводниковых изделий, дисплеев и компонентов Интернета вещей», — устверждает Юхана Костамо.

За более подробной информацией о модели PICOSUN® Sprinter обращайтесь, пожалуйста, к специалистам компании Евроинтех.