22 октября 2020
Кластерные системы атомно-слоевого осаждения PICOSUN® Morpher открывают новые возможности для силовой электроники
PICOSUN® Morpher – это новая платформа, разработанная специально
для пластин диаметром до 8” (200 мм), используемых в производстве силовой
электроники, МЭМС устройств, сенсоров, светодиодов, лазеров и 5G устройств.
Система легко адаптируется в зависимости от задач и подходит как для
исследовательских работ, так и для серийного производства. Модель Morpher
позволяет работать с подложками различных материалов и размеров, возможно
многослойное нанесение.
Силовая электроника включает в себя довольно широкий диапазон применений, начиная от потребительской электроники и транспортных технологий и заканчивая альтернативной энергетикой. Обычно для производства компонентов силовой электроники используются подложки 4−8” из арсенида галлия или карбида кремния. Эти материалы обладают рядом преимуществ по сравнению с чистым кремнием, например, имеют большую подвижность электронов, более высокое пороговое напряжение и могут работать при более высоких температурах. Однако, есть и недостатки этих материалов: высокая плотность ловушек и ток утечки, а также низкая стабильность порогового напряжения.
Снизить плотность ловушек можно с помощью методов предварительной очистки в сочетании с изоляционными слоями с большой запрещенной зоной. Нанесение диэлектрических слоев, таких как Al2O3, AlN или ZrO2, это ключевой момент в снижении тока утечки устройств силовой электроники.
Технология
Более подробно об
оборудовании для