04 апреля 2019
Новая кластерная система плазмохимического осаждения тонких плёнок
Компания
TFE Srl (Италия), один из
ведущих производителей вакуумного оборудования, заявила о выпуске новой
кластерной системы плазмохимического осаждения тонких плёнок. Кластерная
система TER является платформой, которая может быть оборудована шестью
процессными модулями, а также одним или двумя устройствами для кассетной
загрузки. Система ориентирована на применения в научных исследованиях и
пилотных производствах, благодаря своей гибкости, позволяющей проводить
различные процессы, такие как