29 августа 2018

Компания Picosun, ведущий поставщик решений для нанесения тонкопленочных покрытий, получаемых с помощью атомно-слоевого осаждения (ALD), разработала метод получения толстых пленок с близким к нулю остаточным напряжением. В основу метода легла идея комбинирования пленок АСО различных материалов (наноламинатов), которые имеют различные значения остаточных напряжений. Указанная технология может быть востребована среди производителей MEMS устройств.